小马智行冲刺全球自动驾驶出行服务第一股
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第三,智行自动厚膜沉积的选择之一,晶圆级电镀可以实现几微米到几十微米的金属沉积。冲刺出行MEMS晶圆级电镀技术广泛应用于以下方面。
全球射频MEMS开关中的触点等。其他领域:驾驶功率器件的厚铜互联、微流控芯片的金属结构、平面电感/天线的制造等。服务微镜阵列中的扭转梁和反射面。
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MEMS晶圆级电镀是一种在微机电系统制造过程中,冲刺出行整个硅晶圆表面通过电化学方法选择性沉积金属微结构的关键工艺
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